该厂为84英寸晶圆制作线服务设施的超去离子水系统的，一天所产生含硅废污水150吨。废污水下虽无高价属，但硅份量高易结渣，且热敏电阻率需具备18MΩ·cm才可以回收利用。原本正确处理工学院艺就没有办法具备新发布的《电子设备化工业水严重大气污染物排放标准出标准的》（GB39731-2020）有点排放标准出最大限度。 废渣营养成分特殊性 常见被废弃物 ：固体硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度分布0.1-1μm） 异常追求 ：TOC<10μg/L，硼纯度<5μg/L 水硬度基本特性 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物状态更复杂 清理加工制作工艺 施工顺序 改革创新选取"梯级膜隔离+电去化合物"结合流程： 微滤预处置 ：1μm瓷质膜屏蔽短信大颗粒剂硅，通量达到80LMH 亚铁离子变换硅橡胶 ：D201大孔树酯决定性活性炭吸附硅酸原子 下级RO整体 ：一是段二手回成品率60%，二、段适用高脱硼膜电气元件 EDI电去亚铁离子 ：电流大小容重2A/m²，不断洗去残渣正离子 紫外线杀菌的 ：254nm直射线用量40mJ/cm² 能力闪光点 发掘專用阻硅剂（有机质胺类符合物），减慢膜影响期限3倍 EDI摸块特色化流道结构设计，硅祛除率上升至99.8% 在线上硅数据测试仪（在测量空间0.1-500μg/L）实现了招商精准调控 运营转化效果 经再者方检侧： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼水平从8μg/L调至0.3μg/L 软件收售率从原40%上升至68% 膜进行更换期限延长时间至5年，年正常运行总成本调低35%