苏州某半导集成块营造厂，晶圆粗加工工作中出现含硅、氟的特定生活污水处里，制定处里投资规模1200吨/日。生活污水处里营养成分较为复杂，包含的微米级硅科粒及盐酸，过去处里的办法无从标准。 生产废水营养成分及原因 注意空气工业废气 ：胶体溶液硅（100-500nm粒度）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 特征制作工序 ：晶圆刻蚀废水处理工艺处理方法（45%）、CMP物理机械装备拋光废水处理工艺处理方法（40%）、主设备清扫冲洗水（15%） 外理鑫霖环保方案 科学创新进行"化工发展+特种工艺膜脱离"技木线路： 钙盐乳浊液 ：加药氯化钙避开氟铝离子（合成CaF2沉淀物） 二沉池症状 ：混合斜管沉淀池剂保证 胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜虚报冒领微细顆粒 反侵入软件 ：脱盐率>98%，回笼率75% 减压蒸馏凝结 ：浓水段实行氟化物无废气排放标准 最后功效 氟化物浓度值：<8mg/L（高于国3级规格10mg/L） 硅成分：<5mg/L 水土资源英文回收利用率：70%主要用于降温塔保湿补水 危险废弃物减药：蒸发器杂质量较传统式加工制作工艺 降低60%